第一代是構造型傳感器，它應用構造參質變化來感受和轉化信號。構造型傳感器雖屬早期開發(fā)的產(chǎn)品，但近年因由于新材料、新原理、新工藝的相繼應用，在準確度、牢靠性、穩(wěn)定性、靈敏度等方面也有了很大的提高。目前構造型傳感器在工業(yè)自動化、進程檢測與其它等方面仍占有相當大的比重。
第二代是上70年代開展起來的固體型傳感器，這種傳感器由半導體、電介質、磁性材料等固體元件構成，是應用材料某些特性制成。如：應用熱電效應、霍爾效應、光敏效應，辨別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器、光敏傳感器。這類傳感器基于物性變化，無運動部件，構造復雜，體積小;運動響應好，且輸出為電量;易于集成化、智能化;低功耗、安全牢靠。雖然優(yōu)勢很多，但線性度差、溫漂大、過載才能差、性能參數(shù)團圓大。
第三代傳感器是以后剛剛開展起來的智能型傳感器，是微型計算機技術與檢測技術相結合的產(chǎn)物，使傳感用具有一定的人工智能。智能型傳感器技術目前正處于蓬勃開展時期，具有代表典型作品是美國霍尼韋爾公司的ST-3000系列智能變送器和德國斯特曼公司的二維減速度傳感器，以及一些含有微處置器的單片集成壓力傳感器、具有多維檢測才能的智能傳感器和固體圖像傳感器等。隨著不斷的開展，毫無疑問，智能型傳感器將會進一步擴展到化學、電磁、光學和核物理等研究范疇?？梢灶A見，新興的智能化傳感器將會在關系到全人類民生的各個范疇發(fā)揚越來越大的作用。